Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Main
Engineering
Handbook of Semiconductor...

Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Name: Handbook of Semiconductor Interconnection Technology
ISBN: 9781574446746

Geraldine Cogin Schwartz, K.V. Srikrishnan, Arthur Bross

0 / 0

0 comments

คุณชอบหนังสือเล่มนี้มากแค่ไหน

คุณภาพของไฟล์เป็นอย่างไรบ้าง

ดาวน์โหลดหนังสือเพื่อประเมินคุณภาพของไฟล์

คุณภาพของไฟล์ที่คุณดาวน์โหลดมาเป็นอย่างไรบ้าง

This edition reflects the continued evolution of semiconductor technology, describing the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy filtering TEM, and atomic force microscopy. Expert contributors explore recently reported developments in thin film liners and barriers, choices for low-dielectric insulators, address major issues in processing, and cover deposition and etching of metallic films with a focus on electroplated copper. The book also examines the reliability of thin metallic and insulating films and features expanded discussions on copper reliability. Publications and patents are extensively cited throughout the book.

หมวดหมู่:

Engineering

ปี:

2006

ฉบับพิมพ์ครั้งที่:

2nd ed

สำนักพิมพ์:

CRC/Taylor & Francis

ภาษา:

english

จำนวนหน้า:

511